A szilícium fémpor készítése meglehetősen egyszerű. Egyszerűen csak egy bizonyos mennyiségű durva szilíciumport kell inert gáz plazmaívbe helyezni, és magas hőmérsékletre melegíteni, amitől a szilíciumpor szilíciumgőzné válik. Ezt a gőzt ezután lehűtik és nanoszintű szilícium fémporrá alakítják.
Kémiai gőzleválasztási módszer: A szilánt szilíciumra és hidrogénre hasítják, ha bőséges hidrogén van, és hőt vagy fényt használnak. Gyorsan gázzá alakul, amiből nanoszilícium port nyernek.
Golyós csiszolási módszer: A nagyobb szilícium anyagokat géppel nano méretű porokká őrlik súrlódás és a részecskék közötti ütközések segítségével. A golyós köszörüléssel előállított szilícium fémpor magas szennyeződést tartalmaz, a szemcseméret-eloszlás nem szabályozható jól, a későbbi feldolgozás pedig viszonylag körülményes.