A fém szilíciumpor készítése meglehetősen egyszerű. Egyszerűen egy bizonyos mennyiségű durva szilíciumport helyez egy inert gázzal ellátott plazma ívbe, és magas hőmérsékleten melegíti, ami a szilíciumpor szilíciumgőzré alakul. Ezt a gőzt ezután lehűtjük és nano-szintű fém szilíciumporrá alakítják.
Kémiai gőzlerakódási módszer: A szilán szilíciumba és hidrogénbe osztódik, ha sok hidrogén és hő vagy fény használható. Gyorsan olyan gázmá alakul, amelyből nanoszilikonpor érkezik.
Golyócsiszolási módszer: A nagyobb szilícium anyagokat nano méretű porokba őrzik egy olyan gép használatával, amely súrlódást és a részecskék közötti ütközéseket használ. A golyócsiszoló szilíciumfémpor nagy szennyeződés tartalma, a részecskeméret eloszlását nem lehet jól szabályozni, és az azt követő feldolgozás viszonylag nehézkes.