A szilícium-nitrid szintéziséről először 1857-ben számolt be Henri Edouard Saint{1}}Claire Deville és Friedrich Wöhler. Szintézisük során szilíciumot tartalmazó tégelyt helyeztek egy szénnel töltött tégelybe, és melegítették, hogy csökkentsék az oxigén behatolását. Beszámoltak egy általuk szilícium-nitridnek nevezett termékről, de nem tudták meghatározni annak kémiai összetételét.
1879-ben Paul Schutzenberger úgy állította elő a terméket, hogy szilíciumot bélésanyaggal (tégelybélésre használható paszta, amelyet szén, szénbrikett vagy koksz agyaggal való keverésével) kevert nagyolvasztó kemencében, és Si3N4 összetételű vegyületként jelentette. 1910-ben Ludwig Weiss és Theodor Engelhardt Si3N4-et állított elő elemi szilícium tiszta nitrogénben való melegítésével. 1925-ben Friederich és Sittig szilícium-nitridet szintetizált úgy, hogy szilícium-dioxidot és szenet nitrogénatmoszférában 1250-1300 fokra hevítettek a szén termikus redukciójával.